VMS-B模块

VMS-B

VMS-B真空管理系统模块(Vacuum-Management-System module)可以从根据一个或者两个应用的实际需求来开/关真空泵。可与一个或两个CVC 3000真空控制器连用。如果VMS-B上连有两个CVC 3000控制器,只有当两个应用都不需要真空时,它才会关闭泵。

性能特性

  • 最小化泵的运行时间
  • 降低能量消耗
  • 更少维护(更长膜片运行寿命)