旋片泵

主泵

50 Hz下的最大抽速（m³/h）

达2x10-1 mbar

达2x10-3 mbar

PC 3真空系统，达2x10-3 mbar

套件方案
达2x10-3 mbar

RE 2.5 / RZ 2.5

2.3

RE 2.5

RZ 2.5

PC 3 / RZ 2.5

RZ 2.5 +FO +VS 16

RE 6 / RZ 6

5.7

RE 6

RZ 6

PC 3 / RZ 6

RZ 6 +FO +VS 16

RZ 6 +FO +VS 16 +Set DCP+VSP 3000

RE 9 / RZ 9

8.9

RE 9

RZ 9

PC 3 / RZ 9

RE 16 / RZ 16

16.6

RE 16

RZ 16

PC 3 / RZ 16