Generación de pre-vacío para bombas turbomoleculares

Muchas aplicaciones orientadas a la analítica (como, por ejemplo, la espectrometría de masas, microscopía electrónica, análisis de superficies) se llevan a cabo típicamente en el rango del alto vacío. Para generar los vacíos necesarios se emplean preferentemente bombas turbomoleculares. Su limitada capacidad de comprimir contra la presión atmosférica hace necesario el uso de una prebomba. La calidad de los vacíos alcanzados no sólo se mejora de forma decisiva gracias al uso de bombas a membrana exentas de aceite combinadas con bombas turbomoleculares sofisticadas, sino que, en muchos casos, un vacío exento de aceite es indispensable.

Requisitos del proceso

• si en el vacío final se hace un sistema de alto vacío, es decir, trabaja sin gas lastre, el vacío final de la bomba a membrana se puede aplicar como vacío previo. La capacidad de aspiración de la bomba a membrana afectará sólo al tiempo de evacuación.
• bajo gas lastre (entrada o liberación de gas determinadas por el proceso), a la bomba previa se le deben dar las dimensiones correspondientes, para garantizar el vacío previo máximo admitido de la bomba a membrana. Para ello es necesario que la bomba a membrana tenga una alta capacidad de aspiración hasta casi el vacío final.

Exigencias de la bomba de vacío

• el vacío final de la bomba a membrana depende de los requerimientos de vacío previo de la bomba de alto vacío; con bombas a membrana VARIO^® hasta 0,3 mbar
• alta capacidad de aspiración incluso cerca del vacío final
• consumo mínimo de corriente
• tasa de fugas de reflujo mínima (sin aireación en caso de falta de corriente)
• alta fiabilidad
• funcionamiento, 24/7
• Elevada tolerancia a condensados
• Alta estabilidad del vacío final
• marcha fiable también en condiciones de vacío
• tamaño pequeño y poco peso

Sistemas recomendados