Pompe primaire pour pompe turbomoléculaire

De nombreuses applications à orientation analytique (par ex. spectrométrie de masse, microscopie électronique, analyse des surfaces) nécessitent typiquement un vide poussé. Pour produire les vides nécessaires, ce sont surtout les pompes turbomoléculaires qui sont utilisées. Leur incapacité de refouler à la pression atmosphérique rend nécessaire l’utilisation d’une pompe à vide primaire. La qualité des vides obtenus n’est pas seulement nettement améliorée par l’utilisation de pompes à membrane mais aussi par l'obtention d'un vide sans huile, indispensable dans la plupart des cas.

 

Exigences du procédé

  • si un système de vide poussé est exploité en vide limite, c.-à-d. sans lest d’air, il est alors possible d’utiliser le vide limite de la pompe à membrane comme vide primaire.Le débit de la pompe à membrane n’influence alors que sur le temps de descente en vide.
  • sous lest d’air (entrée ou rejet d’air en fonction du procédé), la pompe à prévide doit être dimensionnée en conséquence afin de garantir le vide primaire maximal admissible de la pompe à vide poussé. Ici, un débit élevé de la pompe à membrane proche de son vide limite est décisif. Toutes les pompes VACUUBRAND, grâce à leur design à membrane plate possèdent cette excellente caractéristique.

Exigences de la pompe à vide

  • vide limite de la pompe à membrane en fonction des exigences de vide primaire de la pompe à vide poussé ; avec pompes à membrane VARIO® jusqu’à 0.3 mbar
  • débit élevé même près du vide limite
  • faible consommation de courant
  • faible taux de fuite du reflux (pas d’aération en cas de coupure de courant)
  • fiabilité élevée
  • conçu pour le fonctionnement en continu (24/7)
  • résistance à la condensation
  • haute stabilité du vide limite
  • démarrage fiable même sous vide
  • petite taille et faible poids

 

 

Systèmes recommandés


 

Systèmes recommandés

Jusqu'à 2x10-3 mbar

Jusqu'à 0.3 mbar

Jusqu'à 1 mbar

Jusqu'à 4 mbar:

Pompes primaires typiques pour des pompes turbomoléculaires modernes


MV 2 NT

MV 2 NT VARIO

MV 10

MV 10 VARIO-B

MD 1

MD 4 NT

MD 4 NT VARIO

MD 12

MZ 2D NT

Les pompes turbomoléculaires classiques exigent de basses pressions au refoulement et sont donc combinées à des pompes à palettes à un ou deux étages :


RZ 2.5

RZ 6