Создание форвакуума

Многие аналитические приложения (такие как масс-спектрометрия, электронная микроскопия и анализ поверхностей) требуют применения высокого вакуума. Для создания требуемого высокого вакуума, как правило, используют турбомолекулярные насосы. Эти насосы не могут работать непосредственно от атмосферного давления, поэтому в откачную систему всегда включают форвакуумный насос. Использование безмасляных мембранных насосов для создания форвакуума в сочетании с современными турбомолекулярными насосами дает отличный результат – высокий вакуум без следов масла. Во многих случаях такой вакуум незаменим.

Требования процесса

• Если высоковакуумная система работает в отсутствии натекания газов, предельный вакуум мембранного насоса можно принять за уровень форвакуума. Производительность мембранного насоса, в этом случае, оказывает влияние только на время откачки.
• в случае существенного натекания газов форвакуумный насос должен иметь достаточную производительность, чтобы гарантировать необходимый уровень вакуума в форлинии высоковакуумного насоса. Для таких приложений следует выбирать мембранные насосы, имеющие высокую производительность (даже вблизи предельного вакуума).

Требования к вакуумному насосу

• Необходимый предельный вакуум для мембранного насоса зависит от максимального нужного давления в форлинии высоковакуумного насоса. Мембранные насосы VARIO^® обеспечивают предельный вакуум до 0,3 мбар
• Высокая производительность даже вблизи предельного вакуума
• Низкое потребление энергии
• Низкая величина натекания воздуха в вакуумную систему в случае аварийного отключения электропитании
• длительный режим работы – 24 ч / 7 дней
• Толерантность к конденсату
• Неизменный предельный вакуум и продолжительный срок эксплуатации мембран
• Надежный запуск даже под вакуумом
• малый размер, небольшой вес, очень малые вибрации

Рекомендуемые системы