分子泵的前级真空获取

许多分析设备(如质谱、电镜和一些表面分析手段)都需要在高真空条件下运行。分子泵最经常用于获取所需真空度。因为无法将气体压缩到常压,分子泵需要一个辅助的前级泵。以无油的隔膜泵获得新型分子泵(带分子拖动级)所需的前置真空,明显地改善所获得真空的清洁度。在许多情况下,这种无油的清洁真空是必须的。

过程需求

  • 如果高真空系统工作于零气载状况,隔膜泵的极限真空值将被看做为前级真空。隔膜泵的体积流量仅对抽气时间有影响。
  • 在有气载时(与气体进气口或气体释放量有关),粗真空泵必须尺寸合适,确保可安全地达到高真空的最大允许前级耐压。这需要隔膜泵在接近极限真空时仍有很好的抽速。基于其平整的隔膜设计,所有的VACUUBRAND隔膜泵在这点上都非常出色。

对真空泵的要求

  • 隔膜泵的极限真空足以满足高真空泵的前级耐压需求 - 用VARIO® 隔膜泵时,最低达0.3mbar
  • 即使真空度接近极限真空时,仍有很大的抽速
  • 低能量消耗
  • 低的反倒吸漏率,在断电时不会放气
  • 高稳定性,为持续操作而设计(24/7)
  • 对冷凝液有很好的耐受性
  • 和分子泵相比,更好的极限真空稳定性和维护周期
  • 在真空条件下仍可稳定启动
  • 尺寸小、重量轻、振动低

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