Vorvakuum für Turbomolekularpumpen

Viele analytisch orientierte Anwendungen (z.B. Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie, Oberflächenanalyse) finden typischerweise im Hochvakuum statt. Zur Erzeugung der benötigten Vakua werden vorwiegend Turbomolekularpumpen eingesetzt. Deren eingeschränkte Fähigkeit gegen Atmosphärendruck zu komprimieren macht die Verwendung einer Vorpumpe notwendig. Die Qualität der erreichten Vakua wird durch die Verwendung von ölfreien Membranpumpen in Verbindung mit modernen Turbomolekularpumpen nicht nur entscheidend verbessert, sondern in vielen Fällen ist ein ölfreies Vakuum unabkömmlich.

Prozessanforderungen

  • wird ein Hochvakuumsystem am Endvakuum, d.h. ohne Gaslast betrieben, so kann das Endvakuum der Membranpumpe als Vorvakuum angesetzt werden. Das Saugvermögen der Membranpumpe beeinflusst dann nur die Abpumpzeit.
  • unter Gaslast (prozessbedingter Gaseinlass oder Gasfreisetzung) muss die Vorpumpe so dimensioniert sein, dass das maximal zulässige Vorvakuum der Hochvakuumpumpe sicher erreicht wird. Hierfür ist hohes Saugvermögen der Membranpumpe bis nahe an ihr Endvakuum entscheidend. Alle VACUUBRAND Membranpumpen weisen aufgrund ihres Flachmembran-Designs diesbezüglich hervorragende Eigenschaften auf.

Anforderungen an die Vakuumpumpe

  • Endvakuum der Membranpumpe je nach Vorvakuumanforderung der Hochvakuumpumpe; mit VARIO®-Membranpumpen bis zu 0.3 mbar
  • hohes Saugvermögen auch nahe am Endvakuum
  • geringe Stromaufnahme
  • geringe Rückströmungs-Leckrate (kein Belüften bei Stromausfall)
  • hohe Zuverlässigkeit, ausgelegt für Dauerbetrieb (24/7)
  • Kondensat-Unempfindlichkeit
  • hohe Endvakuumstabilität und lange Membranlebensdauer
  • zuverlässiger Anlauf auch unter Vakuum
  • kleine Baugröße, niedriges Gewicht und geringe Vibrationen