Schraubenpumpe VACUU·PURE 10 Turbopumpe

前级真空
用于高压和超高压

产品建议
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螺杆泵

作为前级泵,VACUU·PURE 螺杆泵可提供10-3 mbar 范围内的洁净极限真空。它为用户带来了三个重要优势:100% 无油、无磨损、无易损件。VACUU·PURE 非常适合需要干燥和无碳氢化合物真空的清洁工艺。螺杆泵的主轴无接触运行,因此既无磨损,也无磨损件。VACUU·PURE 专为真空度低至10-3 mbar 的工艺流程而开发,但也可在更高压力下长时间运行。即使是较大的系统,也可以在不更换真空泵的情况下从大气压抽真空至10-3 mbar 的真空范围。耐化学腐蚀型 VACUU·PURE 10C 可用于处理腐蚀性介质。

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用于高真空系统的前级泵

细节决定成败

深度、洁净的前级真空是高真空或超高真空系统能够达到的极限真空和纯度的关键。

涡轮分子泵的前级泵必须与其最大允许前级真空相匹配。在气体流量较小的情况下,前级泵的极限真空对整个系统可达到的极限真空也起着决定性作用。

抽气速度既决定了抽气时间,也决定了泵系统在连续运行时可抽取的最大流量。如果前级泵无法处理气体量,涡轮分子泵的前级真空就会增加,从而导致泵过载并关闭。前级泵在低吸气压力下保持持续的最大抽气流量是非常有利的。

除性能数据外,许多应用,尤其是物理应用,还需要清洁、无碳氢化合物的真空。因此,为了避免油蒸汽的污染,无油泵类型通常是首选。同样重要的是,要确保真空泵不会产生任何进入真空系统的磨损。

为实现连续运行并避免整个系统的中断,前级泵应尽可能可靠、耐用且维护成本低。如果抽取的是侵蚀性气体,则需要耐化学腐蚀的真空泵。

隔膜泵完全满足所有这些要求,可提供低至约 1 mbar 的前级真空。VACUU·PURE 螺杆泵可提供10-3 mbar 范围内的干燥且不含碳氢化合物的极限真空。

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