低温泵的再生
超低温泵

超低温泵的前级泵还应能够处理再生过程中产生的气体量，而不会将杂质带入真空系统。因此，真空泵在运行时应无油无磨损。

产品建议

螺杆泵

作为前级泵，VACUU·PURE 螺杆泵可提供10^-3 mbar 范围内的洁净极限真空。它为用户带来了三个重要优势：100% 无油、无磨损、无易损件。VACUU·PURE 非常适合需要干燥和无碳氢化合物真空的清洁工艺。螺杆泵的主轴无接触运行，因此既无磨损，也无磨损件。VACUU·PURE 专为真空度低至10^-3 mbar 的工艺流程而开发，但也可在更高压力下长时间运行。即使是较大的系统，也可以在不更换真空泵的情况下从大气压抽真空至10^-3 mbar 的真空范围。耐化学腐蚀型 VACUU·PURE 10C 可用于处理腐蚀性介质。

VACUU·PURE 10

用于非腐蚀性介质
5 x10^-3 mbar | 10 m³/h

VACUU·PURE 10C

耐化学腐蚀
5 x10^-3 mbar | 9 m³/h

VACUU·VIEW extended

用于从大气压到10^-3 mbar 的真空测量

VACUU·SELECT

高真空控制套装
低至10^-3 mbar

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超低温泵的前级泵

前级真空和再生

在超低温泵再生过程中，通往超高真空室的阀门关闭，泵升温至环境温度。之前结合的分子再次解吸，回到气相。此时，前级泵必须将释放的气体抽出，然后尽可能降低真空度，以便再次冷却超低温泵。

因此，设计前级泵的极限真空和最大流量时，必须同时考虑到前级真空的产生和低温泵的再生。

除性能数据外，许多应用，尤其是物理应用，还需要清洁和无碳氢化合物的真空。因此，为了避免油蒸汽的污染，无油泵类型通常是首选。真空泵也不应产生任何可能进入真空系统的磨损。如果抽取的是侵蚀性气体，则需要耐化学腐蚀的真空泵。

VACUU·PURE 螺杆泵符合所有这些标准。因此，它非常适合用作前级泵和超低温泵再生。VACUU·PURE 专为低至10^-3 mbar 的真空范围内的工艺而开发，但也可在更高压力下长时间运行。这意味着即使是较大的系统，也可以在不更换真空泵的情况下从大气压抽真空到10^-3 mbar 的真空范围。耐化学腐蚀型 VACUU·PURE 10C 可用于处理侵蚀性介质。

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