Regeneración de
bombas criogénicas
La bomba de pre-vacío de una bomba criogénica también debe ser capaz de manejar los volúmenes de gas generados durante la regeneración sin introducir impurezas en el sistema de vacío.
Bombas de pre-vacío para bombas criogénicas
Pre-vacío y regeneración
Durante la regeneración de la bomba criogénica, la válvula de la cámara UHV se cierra y la bomba se calienta a temperatura ambiente. Las moléculas unidas anteriormente se desorben de nuevo y vuelven a la fase gaseosa. Ahora, la bomba de pre-vacío debe bombear los gases liberados y, a continuación, reducir el vacío lo máximo posible para que la bomba criogénica pueda enfriarse de nuevo.
Por lo tanto, el vacío final y la capacidad de aspiración de la bomba de apoyo deben diseñarse tanto para la generación del pre-vacío como para la regeneración de la bomba criogénica.