Kryopumpe

Regeneration von Kryopumpen

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Messgerät VACUU·VIEW VACUU·PURE
Schraubenpumpen

Als Vorvakuumpumpe bietet die Schraubenpumpe VACUU·PURE sauberes Endvakuum im Bereich von 10-3 mbar. Sie vereint dabei drei wichtige Vorteile für den Nutzer: 100 % ölfrei, kein Abrieb, keine Verschleißteile. VACUU·PURE ist ideal für saubere Prozesse, die trockenes und kohlenwasserstofffreies Vakuum erfordern. Die Spindeln der Schraubenpumpe laufen berührungslos und damit sowohl abrieb- als auch verschleißfrei. VACUU·PURE ist speziell für Prozesse im Vakuumbereich bis 10-3 mbar entwickelt, kann aber auch über längere Zeit bei höheren Drücken betrieben werden. Das Evakuieren auch größerer Anlagen von Atmosphärendruck bis in den Vakuumbereich von 10-3 mbar kann so ohne Wechsel der Vakuumpumpe erfolgen. Für das Arbeiten mit aggressiven Medien steht die chemiebeständige Version VACUU·PURE 10C zur Verfügung.

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Kryopumpe

Vorvakuumpumpen für Kryopumpen

Vorvakuum und Regeneration

Bei der Regeneration der Kryopumpe wird das Ventil zur UHV-Kammer geschlossen und die Pumpe auf Umgebungstemperatur aufgewärmt. Die zuvor gebundenen Moleküle desorbieren wieder und gehen wieder in die Gasphase über. Die Vorpumpe muss nun die freiwerdenden Gase abpumpen und anschließend das Vakuum so tief wie möglich absenken, so dass die Kryopumpe wieder eingekühlt werden kann.

Das Endvakuum und Saugvermögen der Vorpumpe muss also sowohl für die Vorvakuumerzeugung als auch für die Regeneration der Kryopumpen ausgelegt sein.

Neben den Leistungsdaten ist für viele Anwendungen, insbesondere in der Physik, sauberes und kohlenwasserstofffreies Vakuum erforderlich. Grundsätzlich sind daher ölfreie Pumpentypen zu bevorzugen, um Verunreinigungen durch Öldämpfe zu vermeiden. Außerdem ist darauf zu achten, dass durch die Pumpe kein Abrieb entsteht, der in das Vakuumsystem gelangt. Werden aggressive Gase gefördert, ist eine chemiebeständige Vakuumpumpe erforderlich.

Die Schraubenpumpe VACUU·PURE erfüllt all diese Kriterien. Sie eignet sich daher perfekt als Vorvakuumpumpe und für die Regeneration der Kryopumpe. VACUU·PURE ist speziell für Prozesse im Vakuumbereich bis 10-3 mbar entwickelt, kann aber auch über längere Zeit bei höheren Drücken betrieben werden. Das Evakuieren auch größerer Anlagen von Atmosphärendruck bis in den 10-3 mbar Vakuumbereich kann so ohne Wechsel der Vakuumpumpe erfolgen. Für das Arbeiten mit aggressiven Medien steht die chemiebeständige Version VACUU·PURE 10C zur Verfügung.

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