Beschichtung

Produktempfehlungen
Schraubenpumpen

Die trockene Schraubenpumpe VACUU·PURE bietet sauberes Endvakuum im Bereich von 10-3 mbar. Sie vereint dabei drei wichtige Vorteile für den Nutzer: 100 % ölfrei, kein Abrieb, keine Verschleißteile. VACUU·PURE ist ideal für saubere Prozesse, die trockenes und kohlenwasserstofffreies Vakuum erfordern. Die Spindeln der Schraubenpumpe laufen berührungslos und damit sowohl abrieb- als auch verschleißfrei. Es entstehen somit auch keine Prozessunterbrechungen durch Verschleißteil- oder Ölwechsel. Für das Arbeiten mit aggressiven Medien steht die chemiebeständige Version VACUU·PURE 10C zur Verfügung.

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Vakuum für Beschichtungsprozesse

Sauberes Vakuum für hochwertige Beschichtungen

Vakuum wird für verschiedene Beschichtungsverfahren wie beispielsweise PVD oder CVD benötigt. Das benötigte Prozessvakuum reicht dabei vom Grobvakuumbereich (Atmosphäre bis 1 mbar) bis hin zum Hochvakuumbereich (10-3 bis 10-7 mbar).

Sauberes Vakuum ist für Beschichtungsprozesse sehr wichtig, um Verunreinigungen der Beschichtungen zu vermeiden. Grundsätzlich sind daher ölfreie Pumpentypen zu bevorzugen, um Beeinträchtigungen durch Öldämpfe zu vermeiden. Außerdem ist darauf zu achten, dass durch die Pumpe kein Abrieb entsteht, der in das Vakuumsystem gelangt.

Werden korrosive Medien eingesetzt, sollte die Pumpe außerdem chemiebeständig sein.

Für den Druckbereich bis 1 mbar erfüllen Membranpumpen all diese Anforderungen hervorragend. Für den Druckbereich bis 10-3 mbar ist die Schraubenpumpe die beste Wahl.

Beide Pumpentypen eignen sich auch hervorragend als Vorvakuumpumpen für HV- und UHV-Systeme.

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