Schraubenpumpe VACUU·PURE 10 Turbopumpe

Vorvakuum
für HV und UHV

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Messgerät VACUU·VIEW VACUU·PURE
Schraubenpumpen

Als Vorvakuumpumpe bietet die Schraubenpumpe VACUU·PURE sauberes Endvakuum im Bereich von 10-3 mbar. Sie vereint dabei drei wichtige Vorteile für den Nutzer: 100 % ölfrei, kein Abrieb, keine Verschleißteile. VACUU·PURE ist ideal für saubere Prozesse, die trockenes und kohlenwasserstofffreies Vakuum erfordern. Die Spindeln der Schraubenpumpe laufen berührungslos und damit sowohl abrieb- als auch verschleißfrei. VACUU·PURE ist speziell für Prozesse im Vakuumbereich bis 10-3 mbar entwickelt, kann aber auch über längere Zeit bei höheren Drücken betrieben werden. Das Evakuieren auch größerer Anlagen von Atmosphärendruck bis in den Vakuumbereich von 10-3 mbar kann so ohne Wechsel der Vakuumpumpe erfolgen. Für das Arbeiten mit aggressiven Medien steht die chemiebeständige Version VACUU·PURE 10C zur Verfügung.

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Schraubenpumpe VACUU·PURE 10 Turbopumpe

Vorvakuumpumpen für Hochvakuumsysteme

Der Unterschied liegt im Detail

Tiefes, sauberes Vorvakuum ist mitentscheidend für das erreichbare Endvakuum und die Reinheit in Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumsystemen.

Die Vorpumpe für Turbomolekularpumpen muss entsprechend deren maximal zulässigem Vorvakuum gewählt werden. Bei kleinen Gasflüssen ist das Endvakuum der Vorpumpe mitentscheidend für das erreichbare Endvakuum des Gesamtsystems.

Das Saugvermögen entscheidet sowohl über die Abpumpzeit als auch über die Gasmenge, die vom Pumpsystem im Dauerbetrieb maximal gefördert werden kann. Wenn die Vorpumpe die Gasmenge nicht bewältigen kann, steigt das Vorvakuum an der Turbomolekularpumpe an, was zu deren Überlastung und Abschaltung führen kann. Vorteilhaft ist ein möglichst konstant hohes Saugvermögen der Vorpumpe bis zu tiefen Ansaugdrücken.

Neben den Leistungsdaten ist für viele Anwendungen, insbesondere in der Physik, sauberes und kohlenwasserstofffreies Vakuum erforderlich. Grundsätzlich sind daher ölfreie Pumpentypen zu bevorzugen, um Verunreinigungen durch Öldämpfe zu vermeiden. Außerdem ist darauf zu achten, dass durch die Pumpe kein Abrieb entsteht, der in das Vakuumsystem gelangt.

Um Dauerbetrieb zu ermöglichen und Unterbrechungen im Gesamtsystem zu vermeiden, sollte die Vorvakuumpumpe möglichst zuverlässig, langlebig und wartungsarm sein. Werden aggressive Gase gefördert, ist hierzu eine chemiebeständige Vakuumpumpe erforderlich.

Membranpumpen erfüllen all diese Anforderungen hervorragend für Vorvakua bis ca. 1 mbar. Die Schraubenpumpe VACUU·PURE bietet trockenes und kohlenwasserstofffreies Endvakuum im Bereich von 10-3 mbar.

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