Kryopumpe

Régénération des
pompes cryogéniques

Recommandations de produits
Messgerät VACUU·VIEW VACUU·PURE
Pompes à vis

En tant que pompe à vide primaire, la pompe à vis VACUU·PURE fournit un vide limite propre de l'ordre de 10-3 mbar. Elle combine trois avantages importants pour l'utilisateur : 100% sans huile, pas de débris d'abrasion, pas de pièces d'usure. La pompe VACUU·PURE est idéale pour les procédés propres qui nécessitent un vide sec et sans hydrocarbures. Les broches de la pompe à vis fonctionnent sans contact et sont donc à la fois sans débris d'abrasion et sans usure. La pompe VACUU·PURE a été spécialement conçue pour les processus dans la plage de vide allant jusqu'à 10-3 mbar, mais elle peut également fonctionner à des pressions plus élevées pendant des périodes plus longues. Même les systèmes les plus importants peuvent être mis sous vide depuis la pression atmosphérique jusqu'à la plage de vide de 10-3 mbar sans changer la pompe à vide. La version résistante aux produits chimiques VACUU·PURE 10C est disponible pour les milieux agressifs.

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Pompes à vide primaire pour les pompes cryogéniques

Vide primaire et régénération

Pendant la régénération de la pompe cryogénique, la vanne de la chambre UHV est fermée et la pompe est réchauffée à la température ambiante. Les molécules précédemment liées se désorbent à nouveau et retournent à la phase gazeuse. La pompe à vide primaire doit alors pomper les gaz libérés et abaisser le vide aussi bas que possible afin que la pompe cryogénique puisse être refroidie à nouveau.

Le vide limite et le débit maximal de la pompe à vide primaire doivent donc être conçus à la fois pour la production du vide primaire et pour la régénération de la pompe cryogénique.

Outre les données de performance, un vide propre et exempt d'hydrocarbures est nécessaire pour de nombreuses applications, en particulier dans le domaine de la physique. Les types de pompes sans huile sont donc généralement préférables afin d'éviter la contamination par les vapeurs d'huile. La pompe ne doit pas non plus générer de débris d'abrasion qui pourraient pénétrer dans le système de vide. Si des gaz agressifs sont pompés, une pompe à vide résistante aux produits chimiques est nécessaire.

La pompe à vis VACUU·PURE répond à tous ces critères. Elle convient donc parfaitement comme pompe à vide primaire et pour la régénération des pompes cryogéniques. La pompe VACUU·PURE a été spécialement conçue pour les processus dans la plage de vide allant jusqu'à 10-3 mbar, mais elle peut également fonctionner à des pressions plus élevées pendant des périodes plus longues. Cela signifie que même les systèmes les plus importants peuvent être mis sous vide depuis la pression atmosphérique jusqu'à la plage de vide de 10-3 mbar sans changer de pompe à vide. La version résistante aux produits chimiques VACUU·PURE 10C est disponible pour les milieux agressifs.

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