Generación de pre-vacío para bombas turbomoleculares

Muchas aplicaciones orientadas a la analítica (como, por ejemplo, la espectrometría de masas, microscopía electrónica, análisis de superficies) se llevan a cabo típicamente en el rango del alto vacío. Para generar los vacíos necesarios se emplean preferentemente bombas turbomoleculares. Su limitada capacidad de comprimir contra la presión atmosférica hace necesario el uso de una prebomba. La calidad de los vacíos alcanzados no sólo se mejora de forma decisiva gracias al uso de bombas de membrana exentas de aceite combinadas con bombas turbomoleculares sofisticadas, sino que, en muchos casos, un vacío exento de aceite es indispensable.

Requisitos del proceso

  • Si en el vacío final se hace un sistema de alto vacío, es decir trabaja sin gas ballast, el vacío final de la bomba de membrana se puede aplicar como vacío previo. La capacidad de aspiración de la bomba de membrana afectará sólo al tiempo de evacuación.
  • Con gas ballast (entrada o liberación de gas dependiendo del proceso) la prebomba deberá ser dimensionada de tal manera, que el vacío previo de la bomba de alto vacío se alcance con seguridad. Esto requiere una alta capacidad de aspiración de la bomba de membrana hasta cerca de su vacío final. En ese sentido todas las bombas de membrana de VACUUBAND tienen características excelentes por su diseño de membrana plana.

Exigencias de la bomba de vacío

  • el vacío final de la bomba de membrana depende de los requerimientos de vacío previo de la bomba de alto vacío; con bombas de membrana VARIO® hasta 0,3 mbar
  • alta capacidad de aspiración incluso cerca del vacío final
  • consumo mínimo de corriente
  • tasa de fugas de reflujo mínima (sin aireación en caso de interupción de corriente)
  • alta fiabilidad para un uso continuo (24/7)
  • elevada tolerancia a condensados
  • alta estabilidad del vacío final y larga vida útil de la membrana
  • marcha fiable también en condiciones de vacío
  • tamaño pequeño, poco peso y bajas vibraciones

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