Pré-vácuo em bombas turbo-moleculares

Muitas aplicações analíticas como espectrometria de massa, microscopia de elétrons ou análise superficial são executadas no alto vácuo. As bombas turbomoleculares são usadas tipicamente para gerar o vácuo necessário. Tais bombas turbomoleculares precisam de uma bomba de apoio auxiliar, como não podem comprimir à pressão atmosférica. A utilização de bombas de diafragma sem óleo para a geração de vácuo dianteiro com bombas de turbo melhora o asseio da geração de vácuo, e muitas vezes reduz as exigências de serviço também. Em muitos casos um alto vácuo sem óleo é absolutamente obrigatório.

Requisitos do processo

  • Se o sistema de alto vácuo é operado sem qualquer carga de gás, o vácuo final da bomba de diafragma pode ser assumido como o vácuo de suporte disponível. A taxa de fluxo da bomba de diafragma, em seguida, apenas tem um impacto sobre o tempo de bombeamento.
  • Com lastro de gás (entrada de gás ou lançamento de gás dependendo do processo), a bomba prévia tem de ser dimensionada assim, para que alcance o vácuo prévio da bomba com segurança. Isto requer uma bomba de diafragma com uma alta capacidade de aspiração perto do seu vácuo final. Todas as bombas de diafragma da VACUUBRAND são excelentes neste sentido por causa dos seus desenhos de diafragma planos.

Exigências da bomba de vácuo

  • vácuo máximo da bomba de diafragma suficiente para atender os requisitos de pressão de apoio da bomba de alto vácuo - até 0,3 mbar, com bombas de diafragma VARIO®
  • alta capacidade de aspiração, também perto do vácuo final
  • baixo consumo de energia
  • baixa taxa de vazamento anti-refluxo, sem ventilação durante uma falha de energia
  • alta confiabilidade para uso contínuo (24/7)
  • elevada tolerância a condensados
  • alta estabilidade do vácuo final e intervalos de serviço comparáveis às bombas turbo
  • marcha confiável mesmo sob vácuo
  • tamanho pequeno, pouco peso e baixa vibração

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