Создание форвакуума для турбомолекулярных насосов
Многие аналитические приложения (такие как масс-спектрометрия, электронная микроскопия и анализ поверхностей) требуют применения высокого вакуума. Для создания требуемого высокого вакуума, как правило, используют турбомолекулярные насосы. Эти насосы не могут работать непосредственно при атмосферном давлении, поэтому в откачную систему всегда включают форвакуумный насос. Использование безмасляных мембранных насосов для создания форвакуума в сочетании с современными турбомолекулярными насосами дает отличный результат – высокий вакуум без следов масла. Во многих случаях такой вакуум незаменим.
Требования процесса
- Если высоковакуумная система работает в отсутствии натекания газов, предельный вакуум мембранного насоса можно принять за уровень форвакуума. Производительность мембранного насоса, в этом случае, оказывает влияние только на время откачки. В случае существенного натекания газов форвакуумный насос должен иметь достаточную производительность, чтобы гарантировать необходимый уровень вакуума в форлинии высоковакуумного насоса. Для таких приложений следует выбирать мембранные насосы, имеющие высокую производительность (даже вблизи предельного вакуума).
- При работе с высокими нагрузками по газу (связанные с процессом подачи газа или утечки газа), форвакуумный насос должен обеспечивать требуемый уровень форвакуума для высоковакуумного насоса. Определяющей характеристикой в этом случае является производительность мембранного насоса при его предельном вакууме. Все насосы VACUUBRAND удовлетворяют этим требованиям благодаря уникальному дизайну конструкции мембран.
Требования к вакуумному насосу
- предельный вакуум мембранного насоса, удовлетворяющий требования высоковакуумного насоса - до 0.3 мбар, с вакуумными насосами VARIO®
- высокая скорость откачки даже при давлениях, близких к предельным
- низкое потребление энергии
- низкий уровень утечки из-за обратного всасывания, предотвращение разгерметизации в случае сбоя питания
- высокая надёжность для непрерывной работы
- устойчивость к конденсату
- высокий предельный вакуум, долгий срок службы для турбо насосов
- надёжный запуск даже под вакуумом
- малые размеры, малый вес и низкие вибрации
